[发明专利]大尺寸Cu(111)单晶铜箔和超大尺寸单晶石墨烯的制备方法有效
申请号: | 201610098623.6 | 申请日: | 2016-02-23 |
公开(公告)号: | CN105603514B | 公开(公告)日: | 2017-12-01 |
发明(设计)人: | 徐小志;张智宏;刘开辉 | 申请(专利权)人: | 北京大学 |
主分类号: | C30B25/18 | 分类号: | C30B25/18;C30B1/02;C30B29/02 |
代理公司: | 北京万象新悦知识产权代理事务所(普通合伙)11360 | 代理人: | 贾晓玲 |
地址: | 100871*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供了一种大尺寸Cu(111)单晶铜箔和超大尺寸单晶石墨烯的制备方法。所述方法为用掺杂金属元素的多晶铜箔作为原料,利用特殊退火工艺制备出超大尺寸单晶Cu(111),然后利用常压化学气相沉积法,以Cu(111)单晶为衬底获得超大尺寸高质量单晶石墨烯。本发明提出的方法,解决了单晶Cu(111)价格昂贵的问题,并利用衬底的调控作用制备出超大尺寸单晶石墨烯,解决了石墨烯生长中单晶尺寸小、生长过程复杂等技术问题,通过非常简单的方法,实现了铜箔单晶和高质量大尺寸的单晶石墨烯样品的制备。 | ||
搜索关键词: | 尺寸 cu 111 铜箔 超大 晶石 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种单晶铜箔的制备方法,其特征在于,对金属元素掺杂的多晶铜箔进行退火获得单晶铜箔,所述单晶铜箔为Cu(111)单晶铜箔;掺杂的金属元素为包括Ca、Mg和Cr的组中的一种或多种,以铜箔和掺杂的金属元素的总重量为100%计掺杂的金属元素占比为0.0001wt%~10wt%;所述方法包括如下步骤:(一)、将所述金属元素掺杂的多晶铜箔平置于耐高温衬底上,放入化学气相沉积设备中,通入惰性气体,然后开始升温;(二)、温度升至800~1100℃时,进行退火过程,退火结束后即得到所述Cu(111)单晶铜箔。
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