[发明专利]湿法剥离中防止氮化镓基垂直LED衬底被腐蚀的方法在审
| 申请号： | 201610099451.4 | 申请日： | 2016-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN105679889A | 公开（公告）日： | 2016-06-15 |
| 发明（设计）人： | 李国强 | 申请（专利权）人： | 河源市众拓光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L21/306 |
| 代理公司： | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人： | 李健富 |
| 地址： | 517000 广东省河源市高新技术开*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供湿法剥离中防止氮化镓基垂直LED衬底被腐蚀的方法，该方法用于防止氮化镓基垂直LED片硅腐蚀液湿法剥离过程中不被腐蚀，该氮化镓基垂直LED片自下至上依次由硅衬底、LED外延层和金属衬底复合而成；该方法依次包括清洗、旋涂表面处理剂、旋涂表面处理剂光刻胶、刷涂光刻胶和烘干，以在金属衬底层上依次形成表面处理剂层以及在该氮化镓基垂直LED片外形成光刻胶层步骤。该方法使用的原料均可市售，原料成本低廉；该方法在氮化镓基垂直LED片衬底在湿法剥离过程中不易损伤；该方法能更有效地防止外延层的翘曲，减少了裂纹的产生。 | ||
| 搜索关键词： | 湿法 剥离 防止 氮化 垂直 led 衬底 腐蚀 方法 | ||
【主权项】：
湿法剥离中防止氮化镓基垂直LED衬底被腐蚀的方法，包括以下步骤：1)清洗：将氮化镓基垂直LED片依次置于丙酮、乙醇、去离子水中超声清洗；取出后经去离子水清洗，用氮气吹干；该氮化镓基垂直LED片自下至上依次由硅衬底、LED外延层和金属衬底复合而成；2)旋涂表面处理剂：在金属衬底面中心滴加表面处理剂，以1000rpm预转后再以3000rpm旋转使表面处理剂在金属衬底上分散均匀；3)旋涂光刻胶：在金属衬底面中心滴加正性光刻胶，以1000rpm预转后再以3000rpm旋转使正性光刻胶在金属衬底上分散均匀；4)刷涂光刻胶：用刷子将金属衬底的侧面刷上正性光刻胶；使金属衬底侧面封口；5)烘干：将步骤4)处理后的氮化镓基垂直LED片先于105‑115℃干燥后再于135‑145℃烘干。
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