[发明专利]一种微型铣刀金刚石复合涂层的制备方法

摘要

本发明涉及一种微型铣刀金刚石复合涂层的制备方法，制备方法包括：铣刀表面预处理，形成微孔结构；将经处理后的微型铣刀装入工装中，再装入沉积反应腔室内；将沉积反应腔室抽真空，再向沉积反应腔室通入甲烷、氢气、氧气、氩气、乙烷等两种气体或多种气体的混合物；在沉积反应腔室中，沉积过程分为预热期、成核期、纳米涂层生长期、生长末期4个阶段，4个阶段采用不同的气相沉积条件，在成核期主要以铣刀表面的微孔为金刚石晶粒成核核心，然后在生长期金刚石涂层生长成膜；反应生成的金刚石涂层颗粒粒径小于铣刀表面的微孔结构的尺寸，这样刃部的表面生成的纳米金刚石涂层附着性能极佳。

主权项

一种微型铣刀金刚石复合涂层的制备方法，铣刀包括刃部和柄部，刃部刃径范围为0.01‑3.15mm，其特征在于，制备方法包括如下步骤：(1)铣刀表面的预处理，形成微孔结构，微孔结构的尺寸为100nm‑50um。(2)将经处理后的微型铣刀装入工装中，再装入沉积反应腔室内；(3)将沉积反应腔室抽真空，再向沉积反应腔室通入甲烷、氢气、氧气、氩气、乙烷等两种气体或多种气体的混合物；(4)在沉积反应腔室中，沉积过程分为预热期、成核期、纳米涂层生长期、生长末期4个阶段，4个阶段采用不同的气相沉积条件，其中成核期主要以铣刀表面的微孔为金刚石晶粒成核核心，然后在生长期金刚石涂层生长成膜；(5)在沉积的加热器，反应腔室体温度为500℃‑1400℃；(6)反应生成的金刚石涂层纳米金刚石颗粒粒径范围为20‑100nm，金刚石涂层颗粒粒径小于铣刀表面的微孔结构的尺寸，金刚石涂层颗粒会首先填充铣刀表面的微孔结构，然后再进行生长，这样刃部的表面生成的纳米金刚石涂层附着性能极佳，其厚度为1um‑100um。