[发明专利]反应性溅射装置有效
| 申请号： | 201610100959.1 | 申请日： | 2016-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN105908138B | 公开（公告）日： | 2018-07-24 |
| 发明（设计）人： | 尹炳汉;吴芝瑛;黄在君 | 申请（专利权）人： | 亚威科股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/56;C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384 | 代理人： | 郑青松 |
| 地址： | 韩国大*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种反应性溅射装置，包括：基板搬送部，搬送基板；及工序腔室，对通过所述基板搬送部搬送的基板，执行反应性溅射工序，所述工序腔室，包括：2个以上的第1阴极模块，用于在通过所述基板搬送部搬送的基板的第1区域上蒸镀第1氧化物薄膜；及1个以上的第2阴极模块，用于在通过所述基板搬送部搬送的所述基板的第1区域中一部分之外的第2区域上蒸镀第2氧化物薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 反应 溅射 装置 | ||
【主权项】：
1.一种反应性溅射装置，其特征在于，包括：基板搬送部，搬送基板；及工序腔室，对通过所述基板搬送部搬送的基板，执行反应性溅射工序，所述工序腔室，包括：2个以上的第1阴极模块，用于在通过所述基板搬送部搬送的基板的第1区域上蒸镀第1氧化物薄膜；及1个以上的第2阴极模块，用于在通过所述基板搬送部搬送的所述基板的第1区域中一部分之外的第2区域上蒸镀第2氧化物薄膜；所述基板的第1区域被定义为蒸镀所述第1氧化物薄膜的所述基板的前面整体，所述基板的第2区域被定义为所述基板的上部与下部边缘部分之间的中间部分；所述2个以上的第1阴极模块包括长度大于所述基板的第1目标，所述1个以上的第2阴极模块包括长度小于所述第1目标的第2目标。
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