[发明专利]微传感器及其制造方法在审
| 申请号： | 201610101653.8 | 申请日： | 2016-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN107121221A | 公开（公告）日： | 2017-09-01 |
| 发明（设计）人： | 童玺文;吴名清 | 申请（专利权）人： | 英属开曼群岛商智动全球股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16;G01L19/04;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司11205 | 代理人： | 马雯雯,臧建明 |
| 地址： | 英属开曼群岛大开曼KY1-1*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种微传感器及其制造方法。其中微传感器包括第一基板以及第二基板。第一基板具有形成有凹槽的表面。第二基板具有感测结构，其中第一基板形成有凹槽的表面与第二基板接合，以将凹槽密封住，使凹槽中的气压值为定值。另提供一种传感器的制造方法。本发明提供的微传感器可感测外界压力的变化，本发明另提供的微传感器的制造方法可制造出具环境感测能力的微传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种微传感器的制造方法，其特征在于，包括：在第一基板的表面形成凹槽；将所述第一基板形成有所述凹槽的所述表面与第二基板接合，以将所述凹槽密封住，使所述凹槽中的气压值为定值；以及在所述第二基板中形成感测结构。
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