[发明专利]一种金属薄膜柔性应变传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201610101825.1 | 申请日： | 2016-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN105627905B | 公开（公告）日： | 2019-06-18 |
| 发明（设计）人： | 朱宏伟;杨婷婷 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01B7/16 | 分类号： | G01B7/16;G01H11/06 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 邸更岩 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区1*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种金属薄膜柔性应变传感器及其制备方法，所述传感器包括金属薄膜、柔性基材和至少两个触点电极；金属薄膜附着在柔性基材上，两者之间为弱贴合；金属薄膜中具有至少一条贯通的定向长裂纹，该定向长裂纹的宽度为纳米尺度，在厚度方向裂纹贯穿金属薄膜甚至扩展进入柔性基材，所述贯通的定向长裂纹的方向垂直于拉伸方向；当金属薄膜随柔性基材产生拉伸形变时，金属薄膜裂纹展宽甚至断裂，在所述柔性基材拉伸形变释放时，金属薄膜裂纹缩窄最终回到初始状态。本发明的金属薄膜柔性应变传感不仅具有结构简单、灵敏度较高的特点，且制备工艺简单，原材料来源丰富，与现有的集成电路技术相兼容，便于大规模的生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 薄膜 柔性 应变 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种金属薄膜柔性应变传感器，其特征在于，该应变传感器包括金属薄膜(1)、柔性基材(2)和至少两个触点电极(3)；所述金属薄膜(1)附着在所述柔性基材(2)上，使两者之间形成弱贴合；对柔性基材上的金属薄膜进行可控程度的预拉伸,预拉伸速率为5％/s,预拉伸幅度为10％，再释放预拉伸，释放速率和预拉伸速率保持一致；金属薄膜(1)中具有至少一条贯通的定向长裂纹(11)，所述贯通的定向长裂纹的宽度为纳米尺度，在厚度方向裂纹贯穿金属薄膜甚至扩展进入柔性基材，所述贯通的定向长裂纹的方向垂直于拉伸方向；在所述金属薄膜(1)随所述柔性基材(2)产生拉伸形变时，所述裂纹展宽甚至断裂，但在拉伸形变释放后，裂纹处恢复原样；所述触点电极(3)设置在所述金属薄膜(1)上，在触点电极上设有引线(4)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学，未经清华大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610101825.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种实时高温线性补偿两冗余高精度角位移传感器
- 下一篇：一种丝管蒸发器检具
