[发明专利]一种高速大范围高分辨率成像系统

摘要

本发明公开一种高速大范围高分辨率成像系统，包括宽谱光源、准直透镜、偏振分光镜、光束阻挡器、四分之一波片、景深扩增器、扫描机构、光栅、物镜、光敏探测器、触发电路、光谱仪。本发明的成像系统，在光谱编码共焦显微镜的基础上，增加了暗场探测光路和阈值触发曝光技术，实现了高分辨率、大范围、高速、低成本的划痕探测。

主权项

一种高速大范围高分辨率成像系统，其特征在于，所述成像系统包括宽谱光源、准直透镜、偏振分光镜、光束阻挡器、四分之一波片、景深扩增器、扫描机构、光栅、物镜、光敏探测器、触发电路、光谱仪，其中，所述准直透镜位于所述宽谱光源的出射光路上，经所述准直透镜后的光源准直形成一束准直光；所述偏振分光镜位于所述准直光的出光路径上，将所述准直光分束形成一束直通光与一束反射光，所述直通光与所述反射光正交；所述反射光被所述光束阻挡器吸收；所述直通光经所述四分之一波片、景深扩增器、扫描机构、光栅、物镜后投射到被测物体上；从被测物体表面散射的光经原光路返回，在经过所述四分之一波片时，偏振方向改变的散射光入射至所述偏振分光镜后，被反射的部分到达所述光敏探测器上，当所述散射光的散射光信号超过设定阈值时，所述光敏探测器输出电信号至所述触发电路从而触发所述光谱仪中的线阵相机曝光。