[发明专利]一种失效碱性含铜蚀刻液的回收方法有效
申请号: | 201610104875.5 | 申请日: | 2016-02-25 |
公开(公告)号: | CN105776312B | 公开(公告)日: | 2017-11-14 |
发明(设计)人: | 孙树桐;邸万山 | 申请(专利权)人: | 渤海大学 |
主分类号: | C01G3/10 | 分类号: | C01G3/10 |
代理公司: | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙)11369 | 代理人: | 史霞 |
地址: | 121000 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本发明公开了一种失效碱性含铜蚀刻液的回收方法,至少包括以下步骤a、向失效碱性含铜蚀刻液中加入氧化剂,在常温下反应8~10min;b、向失效碱性含铜蚀刻液中加入二乙基二硫代氨基甲酸铵,获得褐色沉淀;c、将褐色沉淀置于容器二中,再向所述容器二中加入氨水,直至褐色沉淀全部溶解,获得蓝色沉淀;d、将蓝色沉淀置于容器三中,向容器三中加入硫酸溶液至沉淀全部溶解,不断搅拌;e、加热溶液获得蓝色晶体。本发明的有益效果是不引入杂质离子,不破坏蚀刻液的化学组成;二乙基二硫代氨基甲酸铵回收后可以反复利用,生产成本低;回收的硫酸铜纯度高;可根据需要控制失效碱性含铜蚀刻液中铜的浓度;不产生二次污染。 | ||
搜索关键词: | 一种 失效 碱性 蚀刻 回收 方法 | ||
【主权项】:
一种失效碱性含铜蚀刻液的回收方法,其特征在于,包括如下步骤:a、将失效碱性含铜蚀刻液置于容器一中,向所述失效碱性含铜蚀刻液中加入氧化剂, 所述氧化剂为氧气、过氧化氢或臭氧中的任意一种,在常温下反应8~10min;b、经过步骤b反应后,向失效碱性含铜蚀刻液中加入二乙基二硫代氨基甲酸铵,匀速搅拌,在常温下反应8~10min后,在所述容器一中有褐色沉淀生成,过滤获得褐色沉淀;c、将步骤b中过滤所得的褐色沉淀置于容器二中,再向所述容器二中加入氨水,直至褐色沉淀全部溶解,在所述容器二中有蓝色沉淀生成,过滤获得蓝色沉淀;d、将步骤c中过滤所得的蓝色沉淀置于容器三中,向容器三中加入硫酸溶液至沉淀全部溶解,不断搅拌,并控制容器三内溶液的pH为5~6;e、加热经过步骤d反应后容器三中的溶液至沸腾,蒸发溶剂,当液面出现晶膜时,停止加热,搅拌溶液,使晶膜分散到溶液中,停止搅拌溶液,将溶液冷却至室温,在溶液中有蓝色晶体析出,过滤获得蓝色晶体;其中, 所述氧气的加入量与失效碱性含铜蚀刻液中铜物质的摩尔之比为0.95~1.05:2; 在步骤a中将氧气以0.1~0.2L/s的速度通入失效碱性含铜蚀刻液中; 步骤b中,二乙基二硫代氨基甲酸铵的加入量与失效碱性含铜蚀刻液中铜物质的摩尔之比为0.95~1.05:1。
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