[发明专利]一种体声波器件及集成结构有效
| 申请号： | 201610105113.7 | 申请日： | 2016-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN105703736B | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 祝明国;李平;孙成龙;王小茹;彭波华;胡念楚;贾斌 | 申请（专利权）人： | 锐迪科微电子（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17 |
| 代理公司： | 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286 | 代理人： | 殷晓雪 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种体声波器件，采用包含绝缘层的衬底，在绝缘层一侧的半导体材料中具有空腔，在该层半导体材料的空腔之上依次具有底电极、压电薄膜和顶电极。本申请的体声波器件同样是基于包含绝缘层的衬底，但是结构最为简单，而且不用改变现有基于体硅衬底的体声波器件制造工艺即可实现。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 声波 器件 集成 结构 | ||
【主权项】：
1.一种体声波器件，其特征是，采用包含绝缘层的衬底，所述包含绝缘层的衬底的两个侧面均为半导体材料，中间具有绝缘层；在绝缘层一侧的半导体材料中具有空腔，在该层半导体材料的空腔之上依次具有底电极、压电薄膜和顶电极。
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