[发明专利]基于机器视觉色差法在线检测CdS薄膜厚度的系统及方法在审

专利信息
申请号: 201610105466.7 申请日: 2016-02-25
公开(公告)号: CN105758318A 公开(公告)日: 2016-07-13
发明(设计)人: 黄勇彪;林文宝;刘海燕;涂代旺;郑林芬 申请(专利权)人: 深圳市众诚达应用材料科技有限公司
主分类号: G01B11/06 分类号: G01B11/06
代理公司: 杭州求是专利事务所有限公司 33200 代理人: 韩介梅
地址: 518106 广东省深圳市光明新*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种基于机器视觉色差法在线检测CdS薄膜厚度的系统,包括CdS薄膜传动系统、计算机及设于上述传动系统上方的光源和拍摄像机;所述计算机内设置有图像采集卡,并具有将CdS薄膜颜色信息转换为厚度信息的功能;当传动系统将CdS薄膜传送至拍摄相机正下方时,拍摄相机采集CdS薄膜的图像,并传送至计算机,计算机获得相应厚度信息。本发明的系统由于采用的是反射光路,这将减小CdS薄膜底层的影响,也可运用于CdS薄膜底层为不透明的情形,还具有检测速度快、检测精度高的特点;能有效提高太阳电池的生产效率,从而降低生产成本。
搜索关键词: 基于 机器 视觉 色差 在线 检测 cds 薄膜 厚度 系统 方法
【主权项】:
基于机器视觉色差法在线检测CdS薄膜厚度的系统,其特征在于,包括CdS薄膜传动系统、计算机及设于上述传动系统上方的光源和拍摄像机;所述计算机内设置有图像采集卡,并具有将CdS薄膜颜色信息转换为厚度信息的功能;当传动系统将CdS薄膜传送至拍摄相机正下方时,拍摄相机采集CdS薄膜的图像,并传送至计算机,计算机获得相应厚度信息。
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