[发明专利]一种电容式惯性传感器数字伺服电路有效
| 申请号： | 201610105849.4 | 申请日： | 2016-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN105785075B | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 熊兴崟;李宗伟;韩可都;薛旭;杨长春;丛宁 | 申请（专利权）人： | 中国科学院地质与地球物理研究所 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人： | 巴晓艳 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种电容式惯性传感器数字伺服电路，包括电容式传感器、读出放大电路，模数转换器(ADC)，数字环路滤波器，多位量化器和脉冲宽度调制发生器。所述电容式传感器、读出放大电路，模数转换器(ADC)，数字环路滤波器，多位量化器和脉冲宽度调制发生器依次连接并构成回路。该电容式惯性传感器数字伺服电路采用数字环路滤波器，具有高的灵活性和精确性；采用多位量化器，实现多位量化，具有小的量化噪声、高线性度和高负载比；采用脉冲宽度调制发生器，产生差分的力反馈控制信号，来实现多位力反馈控制，可以大大的减小普通多位数模转换器(DAC)引入的非线性，并且提高对共模噪声的抑制能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电容 惯性 传感器 数字 伺服 电路 | ||
【主权项】：
1.一种电容式惯性传感器数字伺服电路，其特征在于，所述伺服电路包括一电容加速度传感器、一传感器电容检测单元、一数字算法单元及一脉冲宽度调制反馈单元，所述电容加速度传感器、传感器电容检测单元、数字算法单元及脉冲宽度调制反馈单元依次连接并构成回路,所述传感器电容检测单元包括依次连接的读出放大电路和模数转换器，所述数字算法单元包括数字环路滤波器及多位量化器，所述模数转换器通过数字环路滤波器连接多位量化器，所述读出放大电路将电容加速度传感器的输出信号转换为模拟电压信号；模数转换器将该模拟电压信号转换为数字信号；数字环路滤波器将所述数字信号转换为高位宽的数字信号；多位量化器将高位宽的数字信号进行多位量化后转换为低位宽的数字信号；脉冲宽度调制反馈单元将低位宽的数字信号转换为差分式的反馈控制信号，并反馈作用到电容加速度传感器上。
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