[发明专利]一种新型纳米防指纹薄膜的镀膜方法

摘要

本发明公开了一种新型纳米防指纹薄膜的镀膜方法。本发明的新型纳米防指纹薄膜的镀膜方法，采用串联式蒸镀源对炉腔内的待镀膜工件进行纳米防指纹薄膜镀膜，在使用少量AFP药丸的情况下，可以使炉腔内的待镀膜工件得到均匀的纳米防指纹薄膜，而且在镀膜过程中采用离子束辅助沉积工艺，极大的缩短了纳米防指纹薄膜的镀膜时间，全部镀膜工艺在30min内即可完成，而且不需要额外的烘箱进行烘烤固化，也极大简化了工艺流程。

主权项

1.一种新型纳米防指纹薄膜的镀膜方法，其特征在于，包括以下步骤：S1，对镀膜设备进行放气，打开镀膜设备的门；S2，安装纳米防指纹薄膜药丸；S3，将待镀膜工件放入镀膜设备的炉腔内；S4，关闭镀膜设备的门，抽真空，使镀膜设备的炉腔处于真空状态；S5，镀膜设备对炉腔内的待镀膜工件进行离子束辅助沉积，同时镀膜设备对炉腔内的待镀膜工件进行纳米防指纹薄膜镀膜；S6，对镀膜设备进行放气，从炉腔内取出完成纳米防指纹薄膜镀膜的工件；S7，将完成纳米防指纹薄膜镀膜的工件送去测量滴水角，步骤S5中，所述镀膜设备采用串联式蒸镀源对炉腔内的待镀膜工件进行纳米防指纹薄膜镀膜，所述串联式蒸镀源包括安装法兰、蒸发源水冷进电口、蒸发源水冷出电口和若干蒸发源，其中：所述若干蒸发源从上至下依次设置在所述安装法兰的后表面上，且所述若干蒸发源依次串联连接；每个所述蒸发源的外部均设置有蒸发源挡板；所述蒸发源水冷进电口和蒸发源水冷出电口一上一下地设置在所述安装法兰的前表面上，所述蒸发源水冷进电口与位于所述安装法兰的后表面的最上方的蒸发源电连接，所述蒸发源水冷出电口与位于所述安装法兰的后表面的最下方的蒸发源电连接；每个所述蒸发源均包括支撑板、绝缘支撑座、两个电极、加热片、坩埚、坩埚挡板和四个支柱，所述支撑板垂直设置；所述绝缘支撑座设置在所述支撑板的前表面的下部；所述两个电极分别设置在所述绝缘支撑座上，且所述两个电极一一对应地位于所述支撑板的左右侧；所述加热片跨接在所述两个电极之间，且位于所述绝缘支撑座的前方；所述坩埚设置在所述加热片的中部；所述坩埚挡板设置在所述坩埚的上端；所述四个支柱一一对应地设置在所述支撑板的后表面的四个角，所述蒸发源挡板呈后端开口的箱体结构，每个所述蒸发源设置在相应的所述蒸发源挡板内。