[发明专利]一种监控透射电子显微镜的预警系统在审
| 申请号： | 201610106183.4 | 申请日： | 2016-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN105742144A | 公开（公告）日： | 2016-07-06 |
| 发明（设计）人： | 王义林;张大梁 | 申请（专利权）人： | 镇江乐华电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/26 | 分类号： | H01J37/26 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 楼高潮;熊玉玮 |
| 地址： | 212415 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种监控透射电子显微镜的预警系统，属于电子显微镜的技术领域。系统包括：监控计算机以及向监控计算机发送检测数据的压力传感器组、电流传感器组、光栅编码器、步进电机编码器，监控计算机在电子显微镜关键参数以及主要附件参数中至少一项数据超出该数据自身阈值范围时向电镜计算机发送超出阈值范围的数据并向报警器发送启动指令，报警器发出声光报警，大大提高设备利用率，能够及时发现、及时解决电子显微镜设备出现的问题，避免因为问题的延误发现造成对设备本身的更大程度上的损害或者是对科研实验结果的误导，同时降低设备成本核算。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 监控 透射 电子显微镜 预警系统 | ||
【主权项】：
一种监控透射电子显微镜的预警系统，其特征在于，包括：监控计算机以及向监控计算机发送检测数据的压力传感器组、电流传感器组、光栅编码器、步进电机编码器，所述压力传感器组包括：检测电子枪真空压强的第一压力传感器、检测镜筒真空压强的第二压力传感器、检测投影室真空压强的第三压力传感器，所述电流传感器组包括：检测电镜高压系统暗电流的第一电流传感器、检测灯丝系统发射电流的第二电流传感器，光栅编码器测量样品台在X轴和Y轴上的移动距离，步进电机编码器测量样品台在Z轴上的移动距离，所述监控计算机在电子枪真空压强、镜筒真空压强、投影室真空压强、电镜高压系统暗电流、灯丝系统发射电流、样品台在X轴上的移动距离，样品台在Y轴上的移动距离、样品台在Z轴上的移动距离中至少一项数据超出该数据自身阈值范围时向电镜计算机发送超出阈值范围的数据并向报警器发送启动指令，报警器发出声光报警。
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