[发明专利]磁传感器及其制造方法有效
| 申请号： | 201610106258.9 | 申请日： | 2016-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN105929344B | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 飞冈孝明;海老原美香 | 申请（专利权）人： | 艾普凌科有限公司 |
| 主分类号： | G01R33/07 | 分类号： | G01R33/07 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 何欣亭;陈岚 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 磁传感器及其制造方法，所述磁传感器以如下方式配置，即在配置由霍尔元件、电路等构成的半导体衬底的封装件的小片焊盘形成以与磁收敛板相同的形状及大小凹陷的图案即磁收敛板夹，向此处插入以与形成霍尔元件、电路的半导体衬底不同的工序制作的磁收敛板，在其上由霍尔元件、电路等构成的半导体衬底的背面面向小片焊盘及磁收敛板。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种磁传感器的制造方法，该磁传感器具备磁收敛板，该磁传感器的制造方法具有：准备在表面设有霍尔元件的半导体衬底的工序；形成磁收敛板、对所述磁收敛板进行高温退火的工序；形成具备凹形状的磁收敛板夹的小片焊盘的工序；将所述磁收敛板收纳于所述磁收敛板夹的工序；以及将所述半导体衬底的背面粘贴到所述小片焊盘及所述磁收敛板的表面的工序。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于艾普凌科有限公司，未经艾普凌科有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610106258.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种组合式电流互感器试验装置
- 下一篇：一种测量电池状态的方法及其应用
