[发明专利]一种石墨舟自动清洗装置及方法

摘要

本发明提供了一种石墨舟自动清洗装置及基于该装置的清洗方法，通过隔膜循环泵将氢氟酸经由管路补充至设备内，加液过程中安全门完全闭合，氢氟酸与外界隔绝，且当安全门被打开时加液自动停止，不会发生液体飞溅，保障了操作人员安全；所用的氢氟酸用量，鼓泡清洗时间、水浴去酸时间等参数可以通过触摸屏进行设置，直观方便，不需要人工监视和操作，节约了人工成本，本发明具有急停装置，在发生意外情况时，可以及时关闭所有工作阀门，防止意外情况扩大。本发明可以通过流量计保证氢氟酸用量稳定，同时可以通过触摸屏更改氢氟酸的加液量，比人工加酸更稳定。清洗去酸过程中通过设置在清洗槽内部的氢氟酸浓度传感器确定清洗程度，更加安全可靠。

主权项

一种石墨舟自动清洗装置，包括清洗槽、氢氟酸储罐、排废管以及控制中心，其特征在于：所述清洗槽以及所述氢氟酸储罐之间通过输酸管连接，在所述输酸管上远离氢氟酸储罐的方向上依次串接有隔膜泵、酸流量计、酸阀；所述清洗槽还连接有输水管，所述输水管上设有水阀以及水流量计；所述排废管设于所述清洗槽底部，所述排废管上设有排废阀；所述清洗槽底部还设有鼓泡装置，所述鼓泡装置连接着为输气管，所述输气管上设有气阀；所述清洗槽的侧壁上还设有低液位传感器、高液位传感器；所述酸阀、所述酸流量计、所述隔膜泵、所述水阀、所述水流量计、所述排废阀、所述气阀、所述低液位传感器以及所述高液位传感器均与所述控制中心通讯连接。