[发明专利]多晶硅制备之立式炉管及其制备方法

摘要

一种多晶硅制备之立式炉管，包括：壳体，内设立式炉管的各功能部件；外石英管和内石英管，外石英管和内石英管之间形成气体通路；具有硅片的晶舟，晶舟上设置硅片，晶舟并承载在位于壳体内之底部的基座上；间隔独立设置的第一进气管路、第二进气管路、第三进气管路，第一进气管路、第二进气管路，第三进气管路之出气口分别位于晶舟的不同高度处；排气管路，设置在壳体一侧之底部。本发明通过设置独立且位于不同高度处的第一进气管路、第二进气管路、第三进气管路，并采用外石英管和内石英管的双管特定结构，不仅结构简单、工艺调整方便，而且极大的保证了工艺效率和提升了产品良率。

主权项

一种多晶硅制备之立式炉管，其特征在于，所述多晶硅制备之立式炉管，包括：壳体，内设多晶硅制备之立式炉管的各功能部件；外石英管和内石英管，所述外石英管和所述内石英管之间形成气体通路；具有硅片的晶舟，所述晶舟上设置硅片，所述晶舟并承载在位于所述壳体内之底部的基座上；间隔独立设置的第一进气管路、第二进气管路、第三进气管路，所述第一进气管路、所述第二进气管路，以及所述第三进气管路之出气口分别位于所述晶舟的不同高度处；排气管路，设置在所述壳体之异于所述第一进气管路、第二进气管路、第三进气管路的一侧之底部。