[发明专利]镍金属硅化物的制备方法

摘要

本发明提供了一种镍金属硅化物的制备方法，包括：对暴露的硅衬底表面进行预清洗，除去自然氧化物，在其上沉积镍或镍合金；通入含有氢气的气体进行第一次退火，使镍或镍合金的至少一部分与硅反应；移除未反应的镍或镍合金；进行第二次退火，形成镍金属硅化物；通过在第一次退火中通入含有氢气的气体，能消除反应氛围中微量的氧气，防止镍或镍合金以及镍金属硅化物被氧化，可以降低镍金属硅化物的缺陷，形成形貌和均匀性良好的镍金属硅化物；并且氢气能够修复和减少镍金属硅化物和硅衬底界面处的缺陷，从而改善界面态，提高镍金属硅化物的品质，降低了源极/漏极区及栅极区的接触电阻和串联电阻，提高了器件的可靠性。

主权项

一种镍金属硅化物的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：对暴露的硅衬底表面进行预清洗，除去自然氧化物，在其上沉积镍或镍合金；S2：向工艺腔体中通入含有氢气的气体，去除工艺腔体中的氧气，接着使用氮气净化工艺腔体中残留的含有氢气的气体，然后在沉积镍或镍合金的硅衬底进入工艺腔体之后，通入含有氢气的气体进行第一次退火，使镍或镍合金的至少一部分与硅反应，形成镍金属硅化物的混合物；S3：移除未反应的镍或镍合金；S4：进行第二次退火，使所述镍金属硅化物的混合物转化为镍金属硅化物。