[发明专利]气体可穿透垂直式传感器及包含其的气体感测系统在审

专利信息
申请号: 201610107848.3 申请日: 2016-02-26
公开(公告)号: CN106501339A 公开(公告)日: 2017-03-15
发明(设计)人: 冉晓雯;吕家荣;庄明谚;陈建男 申请(专利权)人: 财团法人交大思源基金会
主分类号: G01N27/407 分类号: G01N27/407
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司31100 代理人: 郭蔚
地址: 中国台湾*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 一种气体可穿透垂直式传感器,用以感测待测气体,其包含基板,其包含气体可穿透结构以用于供待测气体穿透;以及感测组件,其是设置于基板的上表面上,感测组件包含气体可穿透电极及感测层。气体可穿透电极设置于该基板的上表面并包含多个孔洞用以供该待测气体穿透。感测层设置于基板的上表面与气体可穿透电极之间,其中,待测气体是以垂直基板的上表面的方向穿透感测组件及基板后而被感测。包含上述气体可穿透垂直式传感器的气体感测系统亦于此处被提出。
搜索关键词: 气体 可穿透 垂直 传感器 包含 系统
【主权项】:
一种气体可穿透垂直式传感器,用以感测一待测气体,其特征在于,其包含:一基板,其包含一气体可穿透结构以用于供该待测气体穿透;以及一感测组件,其是设置于该基板的一上表面上,包含:一气体可穿透电极,其设置于该基板的上表面并包含多个孔洞用以供该待测气体穿透;及一感测层,设置于该基板的该上表面与该气体可穿透电极之间;其中,该待测气体是以垂直该基板的该上表面的方向穿透该感测组件及该基板后而被感测。
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