[发明专利]用于定向自组装的共聚物配制品、其制造方法以及包含其的物件有效
| 申请号： | 201610108517.1 | 申请日： | 2016-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN106125504B | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | P·D·休斯塔德;P·特雷福纳斯三世;V·V·金兹伯格;B·金;G·H·弗雷德里克森 | 申请（专利权）人： | 陶氏环球技术有限公司;罗门哈斯电子材料有限责任公司;加利福尼亚大学董事会 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/00 |
| 代理公司： | 31100 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陈哲锋;胡嘉倩 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本文公开一种图案形成方法，其包含提供不含刷聚合物层的衬底；在所述衬底上安置一种组合物，所述组合物包含：嵌段共聚物，其包含第一聚合物和第二聚合物；其中所述嵌段共聚物的所述第一聚合物和所述第二聚合物彼此不同；以及添加剂聚合物，其中所述添加剂聚合物包含瓶刷聚合物；其中所述瓶刷聚合物包含彼此键结的聚合链主链和接枝聚合物；并且其中所述瓶刷聚合物包含与所述嵌段共聚物中的聚合物中的一个化学上和结构上相同的聚合物或其中所述瓶刷聚合物包含与所述嵌段共聚物的嵌段中的一个具有优先相互作用的聚合物；以及溶剂；以及使所述组合物退火以促进所述第一聚合物与所述第二聚合物之间的结构域分离。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 定向 组装 共聚物 配制 制造 方法 以及 包含 物件 | ||
【主权项】：
1.一种图案形成方法，其包含：/n提供衬底；/n在所述衬底上安置一种组合物，所述组合物包含：/n嵌段共聚物，其包含第一聚合物和第二聚合物；其中所述嵌段共聚物的所述第一聚合物和所述第二聚合物彼此不同；以及/n添加剂聚合物，其中所述添加剂聚合物包含瓶刷聚合物；其中所述瓶刷聚合物包含彼此键结的聚合链主链和接枝聚合物；并且其中所述聚合主链与所述第一聚合物化学上类似或相同，而所述接枝聚合物与所述第二聚合物化学上类似或相同，或者其中所述聚合主链和接枝聚合物与所述第一聚合物或第二聚合物化学上类似或相同；以及/n溶剂；以及/n使所述组合物退火以促进所述嵌段共聚物的所述第一聚合物与所述第二聚合物之间的结构域分离，从而形成由所述第一聚合物和所述第二聚合物形成的周期结构域的形态；其中所述周期结构域的纵向轴线与所述衬底垂直。/n
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