[发明专利]ITO透明薄膜的缺陷图像采集系统在审
| 申请号： | 201610111461.5 | 申请日： | 2016-02-29 |
| 公开（公告）号： | CN106383127A | 公开（公告）日： | 2017-02-08 |
| 发明（设计）人： | 蒋仕龙;陈方涵 | 申请（专利权）人： | 深港产学研基地 |
| 主分类号： | G01N21/896 | 分类号： | G01N21/896;G01N21/898 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所44237 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明适用于光学检测技术领域，提供了一种ITO透明薄膜的缺陷图像采集系统，包括非可见光光源及用于对非可见光进行调整以用于照明的照明装置，ITO透明薄膜设置于照明装置的照明光路上，ITO透明薄膜和透明基底对非可见光的反射率和吸收率均不同，该系统还包括设置于ITO透明薄膜的反射光路或者透射光路上的成像装置。本发明采用了非可见光作为照明光，ITO透明薄膜和透明基底对非可见光的反射率和吸收率都不同，利用这种材料特性的差异可以使同样透明的ITO薄膜和基底变得可分辨，能够根据成像装置接收的光能量差异以较高的对比度生成ITO透明薄膜的电路图案，并能够在一副图像中体现出相应的加工型及移交型缺陷，进而提高检测精度和效率。 | ||
| 搜索关键词： | ito 透明 薄膜 缺陷 图像 采集 系统 | ||
【主权项】：
一种ITO透明薄膜的缺陷图像采集系统，所述ITO透明薄膜附着于透明基底上，其特征在于，包括非可见光光源，以及用于对所述非可见光光源发出的非可见光进行调整以用于照明的照明装置，所述ITO透明薄膜设置于所述照明装置的照明光路上，所述ITO透明薄膜和透明基底对所述非可见光的反射率和吸收率均不同，所述缺陷图像采集系统还包括设置于所述ITO透明薄膜的反射光路或者透射光路上的成像装置。
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