[发明专利]光传导装置和曝光机

摘要

本发明提供一种光传导装置，应用于曝光机中，所述光传导装置包括弧形狭缝单元，所述弧形狭缝单元包括主体，所述主体设有弧形狭缝，所述主体还设有开孔，所述光传导装置还包括狭缝导光部和孔导光部，经由所述弧形狭缝的光线由所述狭缝导光部传导至待曝光膜的中间位置，经由所述开孔的光线由所述孔导光部传导至所述待曝光膜的边缘位置。根据本发明的光传导装置能够实现通过一次曝光即可完成曝光工作，防止待曝光膜的边缘出现光阻残留。本发明还提供一种曝光机。

主权项

一种光传导装置，应用于曝光机中，所述光传导装置包括弧形狭缝单元，所述弧形狭缝单元包括主体，所述主体设有弧形狭缝，其特征在于，所述主体还设有开孔，所述光传导装置还包括狭缝导光部和孔导光部，经由所述弧形狭缝的光线由所述狭缝导光部传导至待曝光膜的中间位置，经由所述开孔的光线由所述孔导光部传导至所述待曝光膜的边缘位置，所述开孔的数量为两个，所述两个开孔相对于所述弧形狭缝的对称轴呈对称分布，所述主体包括一对相对设置的边缘，所述两个开孔分别位于所述弧形狭缝和所述一对边缘之间，所述孔导光部包括与所述两个开孔分别对应设置的两条光纤束，所述两条光纤束用于将通过所述两个开孔的光线传导至所述待曝光膜的边缘位置，所述光纤束设置成经由所述光纤束传导的光线不会干涉经由所述弧形狭缝的光线。