[发明专利]一种氯硅烷固定床化学吸附反应法除硼磷的方法和设备在审
| 申请号： | 201610112604.4 | 申请日： | 2016-02-29 |
| 公开（公告）号： | CN105731465A | 公开（公告）日： | 2016-07-06 |
| 发明（设计）人： | 黄国强;王丽丽 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 王丽 |
| 地址： | 300072 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种氯硅烷固定床化学吸附反应法除硼磷的方法和设备。包括换热器、固定床吸附柱和导热油循环泵；换热器底部进料管线和换热器顶部出料管线均与固定床底部相连，导热油循环泵向固定床输送传热介质导热油。氯硅烷气相或液相首先进入换热器，再进入化学吸附固定床，由负载了化学络合剂的吸附剂对硼、磷杂质进行化学吸附反应，最终得到高纯氯硅烷。本发明氯硅烷固定床化学吸附反应法除硼、磷杂质的工艺简单，设备投资少，可有效除去氯硅烷中的硼、磷杂质,得到的氯硅烷纯度高。固定床化学吸附法提纯中吸附剂容易再生,成本低。利用固定床化学吸附反应法除氯硅烷中的硼、磷杂质是在国内首次并创造性的提出，为实现稳产电子级多晶硅奠定基础。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅烷 固定床 化学 吸附 反应 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种氯硅烷固定床化学吸附反应法除硼、磷的设备，包括换热器、固定床吸附柱和导热油循环泵；换热器底部进料管线和换热器顶部出料管线均与固定床底部相连，导热油循环泵向固定床输送传热介质导热油。
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