[发明专利]可动装置和加工装置

摘要

提供可动装置和加工装置，能够在高精度地保证可动部的定位精度的同时实现低成本化。作为可动装置的切削装置(1)具有：水平梁(3c)，其固定于装置主体；刀具移动基台(44)，其相对于水平梁(3c)移动并且对切削单元进行支承；以及Y轴位置检测单元(70)。Y轴位置检测单元(70)具有：标尺部(71)，其沿着刀具移动基台(44)的可动方向即Y轴方向配设于水平梁(3c)并具有刻度；以及读取单元(72)，其读取标尺部(71)的刻度。标尺部(71)包含：基台部(74)，其由低膨胀材料构成；标尺(75)，其由固定于基台部(74)而被抑制了伸缩的金属或者树脂形成。

主权项

一种可动装置，该可动装置具有：主体部；可动部，其相对于该主体部移动；标尺部，其沿着该可动部的可动方向配设于该主体部并具有刻度；以及读取单元，其读取该标尺部的刻度，该可动装置的特征在于，该标尺部包含：基台部，其由低膨胀材料构成；以及标尺，其由固定于该基台部而被抑制了伸缩的金属或者树脂形成。