[发明专利]使用可变间距编码孔径的阴影掩模对准有效
| 申请号： | 201610114573.6 | 申请日： | 2016-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN106399932B | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 田村信彦 | 申请（专利权）人： | 阿德文泰克全球有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C16/04 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 顾丽波;井杰 |
| 地址： | 英属维尔京*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了使用可变间距编码孔径的阴影掩模对准。在阴影掩模‑衬底对准方法中，衬底和阴影掩模各自包括具有分隔关系的多个直条的格栅，其中对于每个格栅，每个格栅的每一对分隔的直条被间隙所分开。至少三个相邻间隙之间的间隔是不同的或者不是恒定间距的，并且至少一个格栅包括延伸通过其的间隙。所述衬底的格栅和所述阴影掩模的格栅位于光路中。此后，所述衬底、所述阴影掩模、或者两者的取向被调节以定位所述衬底的格栅、所述阴影掩模的格栅、或者两者，直到通过所述格栅中的一个或两个的所述光路上的预定量的光或者预定范围的量的光被光接收器接收为止。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 可变 间距 编码 孔径 阴影 对准 | ||
【主权项】：
一种阴影掩模‑衬底对准方法，包括：(a)提供衬底，该衬底包括具有分隔关系的多个直条的格栅，其中所述衬底的格栅的分隔直条中的每一对被间隙所分开，其中所述衬底的格栅包括至少三个间隙，其中每一对相邻间隙之间的间隔是不同的；(b)提供阴影掩模，该阴影掩模包括具有分隔关系的多个直条的格栅，其中所述阴影掩模的格栅的分隔直条中的每一对被通过所述阴影掩模的间隙所分开，其中所述阴影掩模的格栅包括至少三个间隙，其中每一对相邻间隙之间的间隔是不同的；(c)提供准直光源‑光接收器对，所述准直光源‑光接收器对中的光接收器位于所述准直光源‑光接收器对中的准直光源所输出的准直光的路径中；(d)使所述衬底的格栅和所述阴影掩模的格栅位于所述准直光的路径中；以及(e)在步骤(d)之后，使所述衬底、所述阴影掩模或者两者的取向被调节以定位所述衬底的格栅、所述阴影掩模的格栅、或者两者，直到所述路径上的预定量的准直光通过所述衬底的格栅中的各个间隙以及所述阴影掩模的格栅中的各个间隙并且被所述光接收器接收为止。
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