[发明专利]利用刀口作为检测标记的波像差检测系统及检测方法有效
| 申请号： | 201610115183.0 | 申请日： | 2016-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN105651493B | 公开（公告）日： | 2018-04-17 |
| 发明（设计）人： | 方伟;唐锋;王向朝;朱鹏辉;李杰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司31213 | 代理人： | 张泽纯,张宁展 |
| 地址： | 201800 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种利用刀口作为检测标记的波像差检测系统及基于刀口测试技术和扫描相干衍射成像(Ptychography)技术的波像差检测方法。该波像差检测系统包括相干点光源，作为检测标记的刀口图形，固定刀口图形的检测标记调节位移台和二维光电传感器。利用本发明的波像差检测系统检测待测投影物镜的波像差，可以简化系统结构，减少观测面图样的采集次数，提高系统的检测速度和精度。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 刀口 作为 检测 标记 波像差 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种利用刀口作为检测标记的波像差检测系统，其特征在于，包括相干点光源(1)，沿该相干点光源(1)光束传播方向依次是作为检测标记的刀口图形(3)、固定该刀口图形(3)的检测标记调节位移台(4)和二维光电传感器(5)；待测投影物镜(2)置于所述的相干点光源(1)和所述的刀口图形(3)之间，所述的相干点光源(1)位于所述的待测投影物镜(2)的物面上，所述的刀口图形(3)固定于所述的检测标记调节位移台(4)上，并通过检测标记调节位移台(4)置于所述的待测投影物镜(2)的像面上，所述的二维光电传感器(5)位于待测投影物镜(2)像面之后的观测面上，观测面与像面之间的距离使观测面上有效光斑的直径小于二维光电传感器(5)光敏面的直径；所述的相干点光源(1)的输出数值孔径大于所述的待测投影物镜(2)的物方数值孔径；所述的刀口图形(3)是由不透光部分和透光部分组成的二值图形，该二值图形含有n条刀口分界线，n≥3，刀口分界线的长度大于待测投影物镜(2)像面光斑的直径；所述的检测标记调节位移台(4)是XYZ三轴位移台，它将刀口图形(3)固定于待测投影物镜(2)的像面上，并使刀口图形(3)其中一条刀口分界线切割待测投影物镜(2)的像面光斑，且使该刀口分界线与光轴的距离在0.5λ/NAi之内，其中NAi是待测投影物镜(2)的像方数值孔径，λ是相干点光源(1)发出光的波长。
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