[发明专利]一种光伏电池制造的扩散工序所用石英器件的清洗方法

摘要

本发明公开了一种光伏电池制造的扩散工序所用石英器件的清洗方法，属于光伏技术领域。光伏电池制造的扩散工序需要用到石英管、石英舟、尾气管、喷淋管等石英器件，这些石英器件长期使用之后会出现沉积偏磷酸、粉尘、碎屑等污染现象，造成制造异常以及电池转换效率的下降。本发明通过混酸清洗以及纯水清洗的方法，去除石英器件的污染，使生产正常运行，提升电池良品率和转换效率。

主权项

一种光伏电池制造的扩散工序所用石英器件的清洗方法，其特征是，具体步骤为：（1）清洗槽体：取出槽内碎片和其它杂物，用纯水冲洗槽体2~20 min，并排掉冲洗的水，保持槽内整洁；（2）放入石英器件：将石英器件缓缓放入槽体中；（3）注入纯水：注入纯水于槽体中，纯水的体积为槽体体积的1/10~1/5，防止配制酸液时酸溅起；（4）配制溶液：按照HF:HCl:纯水的体积比为(0.3~5):(0.3~5):25的体积比例配制溶液，小心缓慢地将化学品倒入槽中，防止液体溅出；（5）鼓泡：时间为1~20 min；（6）酸洗：酸泡1~5 h；（7）水洗：水洗时间为10~60 min；（8）冲洗：利用纯水枪冲洗干净；（9）吹干：利用氮气枪将石英器件表面吹干；（10）饱和：将石英制品通过三氯氧磷和氧气反应充分饱和后即可正常工艺使用。