[发明专利]一种RENA制绒、刻蚀机的补液阀门流量校准方法

摘要

本发明公开了一种RENA制绒、刻蚀机的补液阀门流量校准方法，通过人为屏蔽感应器和简单的卡表计算就能精确校准阀门流量，减少了常规校准流量过程中的需停机、排液、校准的模式。节省了异常停机时间，从而提高生产效率。

主权项

一种RENA制绒、刻蚀机的补液阀门流量校准方法，其特征在于：补液系统包括：液位管（1）、高液位（2）、工作液位（3）、标定液位（4）、低液位（5）、补液灌（6）、不透光纸片（7）和补液阀门（8）；液位管（1）和补液灌（6）相连，液位管（1）上从上至下依次设置有高液位（2）、工作液位（3）、标定液位（4）、低液位（5），高液位（2）和工作液位（3）旁设有不透光纸片（7），补液灌（6）底部设有补液阀门（8）；所述的RENA制绒、刻蚀机的补液阀门流量校准方法，具体为如下步骤：a)在液位管（1）上标定好标定液位（4），在2‑5L之间；b)用不透光纸片（7）遮住高液位（2）和工作液位（3），以屏蔽液位感应器；c)点击机台手动补液，将药液从补液灌（6）中加入其他槽体；d)使用秒表计算标定液位（4）下降的时间并计算流量；e)取下遮住高液位（2）和工作液位（3）的不透光纸片（7），待补液灌（6）补充药液后重复b、c、d步骤多次；f）通过计算多次流量后取平均值，将其写入机台阀门流量参数中。