[发明专利]铁磁半导体平面内磁各向异性的光电流测试系统及方法有效
申请号: | 201610116108.6 | 申请日: | 2016-03-01 |
公开(公告)号: | CN105717467B | 公开(公告)日: | 2019-03-29 |
发明(设计)人: | 邬庆;刘雨;李远;黄威;陈涌海 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | G01R33/032 | 分类号: | G01R33/032 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 宋焰琴 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种铁磁半导体平面内磁各向异性的光电流测试系统,包括钛蓝宝石激光器、斩波器、起偏器、光弹性调制器、光阑、光学平面反射镜、变温冷热台装置、直流电压源以及由两台锁相放大器、计算机组成的数据采集和存储系统。以及采用所述测试系统表征铁磁半导体平面内的磁各向异性的测试方法。利用该测试系统,通过旋转低温冷热台和光学平面反射镜,可以测得不同方位角、入射角下的圆偏振相关的光电流,从而可以研究铁磁半导体平面内磁各向异性的信息。 | ||
搜索关键词: | 半导体 平面 各向异性 电流 测试 系统 方法 | ||
【主权项】:
1.一种铁磁半导体平面内磁各向异性的光电流测试系统,该光电流测试系统包括:一激光光源,为样品提供测试光源;一光学斩波器,位于所述激光光源之后,对所述激光光源进行斩波调制;一光学起偏器,位于所述光学斩波器之后,用于将激光光源设定成特定方向的线偏振光;一光弹性调制器,位于所述光学起偏器之后,用于将所述光学起偏器出射的线偏振光调制成周期性偏振的圆偏振光;一光阑,位于所述光弹性调制器之后,用于调整所述圆偏振光光斑大小;一光学反射镜,位于所述光阑之后,用于调整入射光的入射角度;一变温冷热台装置,用于放置样品,使经所述光学反射镜反射的入射光照射于所述样品上;一直流电压源,用于给待测样品施加外电压,采用在待测样品表面做一对欧姆电极,采用两端电流法测量光电流;以及由两台锁相放大器、计算机组成的数据采集和存储系统,包括:第一锁相放大器,其输入端与所述样品输出的光电流信号相连,由所述光学斩波器为第一锁相放大器提供参考频率,所述第一锁相放大器用于测量普通光电流强度;第二锁相放大器,其输入端与所述样品输出的光电流信号相连,由所述光弹性调制器为第二锁相放大器提供参考频率,所述第二锁相放大器用于测量与圆偏振光相关的光电流信号;一数据采集卡,所述数据采集卡连接第一、第二锁相放大器的输出端,接收来自第一、第二锁相放大器输出端的数据,所述计算机控制数据采集卡对这些电学信号进行运算处理,然后保存处理结果。
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