[发明专利]电光学装置、电光学装置的制造方法及电子设备有效
| 申请号： | 201610118328.2 | 申请日： | 2016-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN106058004B | 公开（公告）日： | 2019-11-19 |
| 发明（设计）人： | 伊藤智 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H01L33/48 | 分类号： | H01L33/48;H01L33/62;H01L33/00 |
| 代理公司： | 11240 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 田喜庆;吴孟秋<国际申请>=<国际公布> |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种电光学装置、电光学装置的制造方法及电子设备，能在支承镜的支承部上不残留牺牲层的情况下，高效地形成表面不存在大凹陷的镜。在电光学装置(100)中，扭曲铰链(35)和镜支承部(38)一体形成在导电部件(31)上，在镜支承部(38)中，位于基板(1)一侧的第1端部(381)形成为朝向基板(1)开口的开放端。在镜支承部(38)中，位于镜(51)一侧的第2端部(382)形成为封闭镜支承部(38)的开口的平板部(385)，镜(51)与平板部(385)的与基板(1)相反一侧的表面接触。用于制造该电光学装置(100)的制造的第1牺牲层(21)通过对感光性树脂的曝光、显影且在形成硬掩膜的状态下的时刻来形成。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 装置 制造 方法 电子设备 | ||
【主权项】：
1.一种电光学装置，其特征在于，具备：/n基板，/n第1支承部，从扭曲铰链朝向所述基板突出，并且被所述基板支承；/n导电部件，由所述扭曲铰链和筒状的第2支承部一体形成，所述扭曲铰链借助所述第1支承部被所述基板侧支承，所述第2支承部从所述扭曲铰链向与所述基板相反一侧突出，并且所述第2支承部的位于所述扭曲铰链一侧的第1端部成为朝向所述基板的开放端；以及/n镜，与所述第2支承部的与所述基板相反一侧的第2端部相接触，/n其中所述第2端部形成为封闭所述第2支承部的开口的平板部。/n
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