[发明专利]具有压电增强效应的基于BZT-BCT的双层铁电薄膜有效
| 申请号： | 201610118909.6 | 申请日： | 2016-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN105742479B | 公开（公告）日： | 2018-07-24 |
| 发明（设计）人： | 韩叶梅;王芳;张楷亮;曹荣荣 | 申请（专利权）人： | 天津理工大学 |
| 主分类号： | H01L41/08 | 分类号： | H01L41/08;H01L41/37 |
| 代理公司： | 天津佳盟知识产权代理有限公司 12002 | 代理人： | 侯力 |
| 地址： | 300384 天津市西青*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种具有压电增强效应的基于BZT‑BCT的双层铁电薄膜，附着于Pt/Ti/SiO2/Si复合衬底的表面，双层铁电薄膜沉积在Pt底电极上，自下而上分别为0.3Ba(Zr0.2Ti0.8)O3‑0.7(Ba0.3Ca0.7)TiO3和0.7Ba(Zr0.2Ti0.8)O3‑0.3(Ba0.3Ca0.7)TiO3。本发明的优点是：该双层铁电薄膜在室温下具有良好的铁电和压电性能，可以减小或消除电极对铁电畴运动的钉扎作用，压电效应比单层0.3Ba(Zr0.2Ti0.8)O3‑0.7(Ba0.3Ca0.7)TiO3铁电薄膜提高一倍以上。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 压电 增强 效应 基于 bzt bct 双层 薄膜 | ||
【主权项】：
1.一种具有压电增强效应的基于BZT‑BCT的双层铁电薄膜，其特征在于：附着于Pt/Ti/SiO2/Si复合衬底的表面，复合衬底是由在单晶Si衬底上生长SiO2，在SiO2表面溅射一层金属Ti作为电极的粘附层，再溅射一层金属Pt层作底层电极得到，双层铁电薄膜沉积在Pt底电极上，自下而上分别为0.3Ba(Zr0.2Ti0.8)O3‑0.7(Ba0.3Ca0.7)TiO3和0.7Ba(Zr0.2Ti0.8)O3‑0.3(Ba0.3Ca0.7)TiO3，每层厚度均为70‑200nm，用具有相近晶格常数的R相0.3Ba(Zr0.2Ti0.8)O3‑0.7(Ba0.3Ca0.7)TiO3作为T相0.7Ba(Zr0.2Ti0.8)O3‑0.3(Ba0.3Ca0.7)TiO3的过渡层，保证铁电畴的自由移动且保持极化状态。
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