[发明专利]固态成像装置

摘要

本公开提供固态成像装置，包含基底具有多个光电转换元件排列成像素阵列，彩色滤光层含有多个彩色滤光部件设置于光电转换元件之上，以及分隔网格含有多个分隔物，每个分隔物设置在两个相邻的彩色滤光部件之间，且彩色滤光层与分隔网格设置在同一层中。此外，分隔物包含第一分隔物设置在像素阵列的中心线，以及第二分隔物设置在像素阵列的边缘，且第二分隔物的顶部宽度大于第一分隔物的顶部宽度。本公开可应用在BSI和FSI成像装置，提高位于像素阵列边缘的像素的灵敏度和量子效率(QE)，且进一步改善固态成像装置的角响应(AR)。

主权项

1.一种固态成像装置，包括：一基底，含有多个光电转换元件排列成一像素阵列；一彩色滤光层，包含多个彩色滤光部件，设置于该多个光电转换元件之上；以及一分隔网格，包含多个分隔物，每个该分隔物设置于两个相邻的所述彩色滤光部件之间，且该彩色滤光层和该分隔网格设置于同一层中，其中该多个分隔物包含一第一分隔物设置在该像素阵列的一中心线，以及一第二分隔物设置在该像素阵列的一边缘，且该第二分隔物的一顶部宽度大于该第一分隔物的一顶部宽度，其中该多个分隔物从该像素阵列的该中心线到该边缘具有不同的顶部宽度，且该多个分隔物的该多个顶部宽度从该像素阵列的该中心线到该边缘逐渐增加。