[发明专利]一种前后电极石墨舟及化学气相沉积设备

摘要

本发明公开了一种前后电极石墨舟，包括：由均匀间隔设置的奇数石墨片和偶数石墨片构成的舟体，奇数石墨片和偶数石墨片通过石墨棒串接，舟体的前端底部设有至少一个前导电石墨块，舟体的后端底部设有至少一个后导电石墨块。本发明还提出了一种使用上述前后电极石墨舟的化学气相沉积设备。本发明在舟体的前后两端分别设有导电石墨，正负电极杆通过与导电石墨接触，从舟体的前后两端引入正负极，使舟体产生的电场均匀。

主权项

1.一种前后电极石墨舟，包括：由均匀间隔设置的奇数石墨片（11）和偶数石墨片（12）构成的舟体（1），所述奇数石墨片（11）和偶数石墨片（12）通过石墨棒串接，其特征在于，所述奇数石墨片（11）的前端底部设有向前伸出的前端下耳片（110），相邻的前端下耳片（110）之间贴合设有前端下隔块（13）或前导电石墨块（14），所述舟体（1）的前端底部设有至少一个前导电石墨块（14）；所述偶数石墨片（12）的后端底部设有向后伸出的后端下耳片（120），相邻的后端下耳片（120）之间贴合设有后端下隔块（16）或后导电石墨块（17），所述舟体（1）的后端底部设有至少一个后导电石墨块（17），所述舟体（1）放置在正负电极杆顶面上，正负电极杆分别与前导电石墨块（14）和后导电石墨块（17）接触通电；所述舟体（1）的两侧为奇数石墨片（11），所述舟体（1）的后端两侧对称设有两个后导电石墨块（17），所述舟体（1）的前端两侧也对称设有两个前导电石墨块（14），所述舟体（1）旋转180°后，依然能分别与正电极杆和负电极杆接触通电。