[发明专利]硬掩模有效
| 申请号： | 201610120335.6 | 申请日： | 2013-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN105732884B | 公开（公告）日： | 2019-07-12 |
| 发明（设计）人： | D·王;孙纪斌;庄芃薇;P·特雷弗纳三世;刘骢 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C08F220/18 | 分类号： | C08F220/18;C08F230/04;C08F220/10;C08F30/04;C08F20/06;H01L21/027;G03F7/16;G03F1/00;G03F7/004;G03F7/038 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 樊云飞 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供了适用于旋涂金属硬掩模的包含某些有机金属低聚物的组合物，其中该组合物可以被改变组成以提供具有一系列刻蚀选择性的金属氧化物硬掩模。还提供了使用本发明的组合物沉积金属氧化物硬掩模的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 硬掩模 | ||
【主权项】：
1.包括一种或多种式(1)的单体作为聚合单元的聚合物用于形成半导体制造中使用的硬掩模的用途，![]()
其中R1＝H或CH3；M＝第3族至第14族金属；L是配体；并且n是指配体的数量并且为1‑4的整数，以及所述聚合物进一步包括一种或多种选自以下的单体作为聚合单元：(甲基)丙烯酸烷基酯单体、(甲基)丙烯酸芳基酯单体、(甲基)丙烯酸羟烷基酯单体、(甲基)丙烯酸烯基酯、(甲基)丙烯酸和乙烯基芳族单体。
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