[发明专利]一种表面增强拉曼散射衬底及其制备方法

摘要

本发明涉及一种表面增强拉曼散射衬底及其制备方法，包括球形空壳和薄膜，薄膜覆盖在球形空壳的上半球面，构成复合微腔结构，所述的球形空壳为ZnO、TiO2、Al2O3、GaN、AlN中任意一种空壳，所述的薄膜为Ag薄膜或者Au薄膜。该衬底的制备方法包括自组装阵列模板、调节阵列模板、在阵列模板上沉积ZnO、TiO2、Al2O3、GaN、AlN中任意一种、氮气氛围内退火、在退火后的阵列模板上沉积Ag薄膜或者Au薄膜。本发明应用复合微腔结构的多极模式耦合共振机制实现操作简单、检测迅速、高灵敏的优点，在食品安全、兴奋剂检测等领域具有广泛的应用前景。

主权项

1.一种表面增强拉曼散射衬底，其特征在于：包括球形空壳和薄膜，薄膜覆盖在球形空壳的上半球面，构成复合微腔结构，所述的球形空壳为ZnO、TiO2、Al2O3、GaN、AlN中任意一种空壳，所述的薄膜为Ag薄膜或者Au薄膜；所述的表面增强拉曼散射衬底的制备方法包括以下步骤：1)自组装聚苯乙烯纳米球阵列模板；2)利用反应离子刻蚀系统调节阵列模板；3)在阵列模板上沉积ZnO、TiO2、Al2O3、GaN、AlN中任意一种；4)在氮气氛围内退火；5)在退火后的阵列模板上沉积Ag薄膜或者Au薄膜。