[发明专利]压电元件、压电元件应用器件以及压电元件的制造方法

摘要

本发明的目的在于提供一种对于施加电压的位移的线性优良的压电元件、压电元件应用器件以及压电元件的制造方法。上述压电元件是具备形成在基板(10)上的第一电极(60)、形成在上述第一电极(60)上且包括由下述式(1)表示的ABO₃型钙钛矿结构的复合氧化物的压电体层(70)、以及形成在上述压电体层(70)上的第二电极80的压电元件，上述压电体层由向(100)面优先取向的多晶构成，具有50nm以上2000nm以下的厚度，并且来源于上述压电体层的(100)面的X射线的衍射峰位置(2θ)为22.51°以上22.95°以下，(K_X，Na_1‑X)NbO₃…(1)。

主权项

1.一种压电元件，其特征在于，具备：第一电极，其形成在基板上；压电体层，其形成在上述第一电极上，该压电体层包括由下述式(1)表示的ABO₃型钙钛矿结构的复合氧化物；以及第二电极，其形成在上述压电体层上，上述压电体层通过湿式法而制成，且被赋予晶格在膜厚方向上收缩的拉伸应力，由多个压电体膜构成，且由向(100)面优先取向的多晶构成，具有110nm以上2000nm以下的厚度，上述多个压电体膜中最接近上述第一电极的压电体膜的膜厚是10nm以上50nm以下，第二层以后的压电体膜的膜厚分别是100nm以上200nm以下，并且，来源于上述压电体层的(100)面的X射线的衍射峰位置(2θ)为22.51°以上22.95°以下，上述压电体层的50％以上的晶体向(100)面取向，(K_X，Na_1‑X)NbO₃…(1)。