[发明专利]一种气液喷雾刻蚀设备及方法

摘要

本发明提供一种气液喷雾刻蚀设备及方法。所述设备包括刻蚀腔室、气体提供装置、刻蚀液提供装置、气液混合装置、气液喷射装置；气液混合装置用于将刻蚀液提供装置提供的刻蚀液和气体提供装置提供的载气混合，形成气液混合物，其中，刻蚀液用于刻蚀刻目标物；气液喷射装置用于利用所述气液混合物形成喷雾并按照设定压强将所述喷雾喷射至目标物上的目标位置。所述方法，采用本发明任意一项实施例所提供的气液喷雾刻蚀设备对目标物进行刻蚀，包括：将用于刻蚀目标物的刻蚀液与刻蚀液的载气进行混合，形成气液混合物；将所述气液混合物按照设定速率喷射到待刻蚀的目标物上的目标位置。本发明所提供的设备及方法，能够改善湿法刻蚀效果。

主权项

1.一种气液喷雾刻蚀设备，其特征在于，包括刻蚀腔室、气体提供装置、刻蚀液提供装置、气液混合装置、气液喷射装置；其中：气液混合装置，与所述气体提供装置、刻蚀液提供装置分别连接，用于将刻蚀液提供装置提供的刻蚀液和气体提供装置提供的载气混合，形成气液混合物，其中，所述刻蚀液用于刻蚀刻蚀腔室中的目标物；气液喷射装置，与所述气液混合装置连接，用于利用所述气液混合物形成喷雾并按照设定压强将所述喷雾喷射至目标物上的目标位置；还包括距离调节机构，用于在不同的喷雾压力参数下，调节喷嘴与目标物间的距离。