[发明专利]树脂密封型半导体装置及其制造方法有效
申请号: | 201610121655.3 | 申请日: | 2016-03-03 |
公开(公告)号: | CN105938802B | 公开(公告)日: | 2020-09-25 |
发明(设计)人: | 木村纪幸 | 申请(专利权)人: | 艾普凌科有限公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;H01L23/31 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 李辉;黄纶伟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 树脂密封型半导体装置的结构及其制造方法,树脂密封型半导体装置由第一树脂密封体(25)和第二树脂密封体(26)构成,第一树脂密封体(25)包括第一半导体元件(2)、外部端子(5)、内部布线(4)以及覆盖这些部件的第一树脂(6),至少外部端子(5)的背面、半导体元件(2)的背面和内部布线(4)的正面从第一树脂(6)露出,第二树脂密封体(26)包括:在正面形成有电极焊盘的第二半导体元件(7);覆盖该第二半导体元件(7)的第二树脂(8);以及与电极焊盘连接且从第二树脂露出的金属体,使第一树脂密封体(25)与第二树脂密封体(26)重叠,从而将内部布线与金属体电连接。 | ||
搜索关键词: | 树脂 密封 半导体 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种树脂密封型半导体装置,其由第一树脂密封体和第二树脂密封体构成,所述树脂密封型半导体装置的特征在于,所述第一树脂密封体包括:第一半导体元件;外部端子,其被设置为与所述第一半导体元件的周围隔开;内部布线,其连接所述第一半导体元件和所述外部端子的正面;以及第一树脂,其覆盖所述第一半导体元件、所述外部端子和所述内部布线,所述外部端子的背面、所述第一半导体元件的背面和所述内部布线的正面从所述第一树脂露出,所述第二树脂密封体包括:第二半导体元件;覆盖所述第二半导体元件的第二树脂;以及金属体,其与所述第二半导体元件连接,并且一部分从所述第二树脂露出,所述内部布线从所述第一树脂密封体露出的面与所述金属体从所述第二树脂密封体露出的面被紧贴成型,从而将所述内部布线与所述金属体电连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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