[发明专利]一种用于微流体系统中的对准键合结构的制作方法有效
| 申请号： | 201610121968.9 | 申请日： | 2016-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN107150996B | 公开（公告）日： | 2020-07-21 |
| 发明（设计）人： | 王欢;李超波;路鑫超;刘虹遥;夏洋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | B81C3/00 | 分类号： | B81C3/00;B81B1/00 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于微流体系统中的对准键合结构的制作方法，该方法利用硬质透光材料对聚合物进行固定，通过硬质透光材料与基底材料的对准和键合，进而实现聚合物与基底材料的对准键合，避免了由于聚合物的材料本身引起的对准键合不精确的问题，提高了键合的对准精度。工艺简单，提高了键合的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 流体 系统 中的 对准 结构 制作方法 | ||
【主权项】：
一种用于微流体系统中的对准键合结构的制作方法，其特征在于，所述方法包括:利用硬质透光材料对聚合物进行固定；将所述硬质透光材料与基底材料进行对准和键合，进而实现所述聚合物与所述基底材料的对准键合。
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