[发明专利]用于测定复合零级波片装配误差的装置与方法

摘要

本发明提供一种用于测定复合零级波片装配误差的装置，包括宽带光源、第一光阑、第二光阑、第一偏振片、第二偏振片、旋转调整架、控制器、多通道光栅光谱仪以及计算处理装置，被测定复合零级波片安装在旋转调整架上，并且位于第一偏振片、第二偏振片之间，通过旋转被测定复合零级波片，实现谱域移相，从而提出光谱数据初相位，在提取光谱数据初相位的情况下，通过列文伯格‑马夸尔特法拟合椭偏光特征参数，获取装配误差。

主权项

一种用于测定复合零级波片装配误差的装置，其特征在于，包括宽带光源、第一光阑、第二光阑、第一偏振片、第二偏振片、旋转调整架、控制器、多通道光栅光谱仪以及计算处理装置，被测定复合零级波片安装在旋转调整架上，并且位于第一偏振片、第二偏振片之间，其中：宽带光源，用于向被测定复合零级波片提供照明；第一光阑，置于宽带光源与第一偏振片之间，并且位于被测定复合零级波片之前，用于限制照明光束的发散；第二光阑，置于第二偏振片与多通道光栅光谱仪之间，并且位于被测定复合零级波片之后，用于限制照明光束的发散；作为起偏器的二向性偏振片，作为第一偏振片，置于第一光阑之后；作为检偏器的二向性偏振片，作为第二偏振片，置于第二光阑之前；旋转调整架，用于带动被测定复合零级波片转动；控制器，与所述旋转调整架连接，用于控制旋转调整架的运动；多通道光栅光谱仪，均置于第二光阑之后，用于采集随着波长变化的光谱数据，即随着波长变化的相对光强值；计算处理装置，分别连接至所述控制器以及多通道光栅光谱仪，用于向控制器施加控制指令以调整旋转架旋转的位置以实现不同角度下光谱数据的采集，以及根据多通道光栅光谱仪采集的光谱数据测定装配误差；其中，所述计算处理装置被设置成根据多通道光栅光谱仪采集的光谱数据并按照下面的方式测定装配误差：使用复合零级波片的琼斯矩阵乘积模型和复合零级波片的特征向量的参数模型建立复合零级波片装配误差和椭偏光特征参数之间关系，再通过波片旋转实现谱域移相，获取多组光谱数据进行处理，以提取椭偏光特征参数，最后采用列文伯格‑马夸尔特法拟合椭偏光特征参数计算出装配误差。