[发明专利]一种准一维稀土六硼化物纳米线的制备方法有效
申请号: | 201610123869.4 | 申请日: | 2016-03-07 |
公开(公告)号: | CN105800628B | 公开(公告)日: | 2018-05-04 |
发明(设计)人: | 肖立华;唐东升;周勇;胡明哲;冉景榆;仇伟;刘仪柯 | 申请(专利权)人: | 贵州理工学院 |
主分类号: | C01B35/04 | 分类号: | C01B35/04;B82Y30/00;B82Y40/00 |
代理公司: | 长沙星耀专利事务所(普通合伙)43205 | 代理人: | 陈亚琴,宁星耀 |
地址: | 550003 贵州省贵阳市云岩*** | 国省代码: | 贵州;52 |
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摘要: | 一种准一维稀土六硼化物纳米线的制备方法,包括如下步骤(1)将硼源置于管式电炉上气流方向的温区1,稀土源置于下气流方向的温区2,硅衬底置于温区2稀土源的下气流方向,重复洗气;(2)通入保护性气氛,将温区1和温区2分别以20~30℃/min和10~20℃/min的速率直接升温至850~1100℃,待温度均稳定后,保温20~180min,自然冷却,得准一维稀土六硼化物纳米线。按照本发明方法所得准一维稀土六硼化物纳米线产量高,纳米结构直径约为30~150 nm,长度约为1~5μm;本发明方法实现了形态均一的准一维稀土六硼化物纳米线大规模直接可控生长,工艺简单、成本低,便于工业化生产。 | ||
搜索关键词: | 一种 准一维 稀土 六硼化物 纳米 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种准一维稀土六硼化物纳米线的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:(1)将硼源置于管式电炉刚玉管上气流方向的温区1,稀土源置于管式炉刚玉管下气流方向的温区2,硅衬底置于温区2稀土源的下气流方向,然后把刚玉管抽真空,再充满保护性气氛,重复洗气≥2次后,继续抽真空;(2)向刚玉管通入保护性气氛,将温区1和温区2分别以25~30℃/min和10~20℃/min的速率直接升温至850~1100℃,待温区1和温区2的温度均稳定后,保温20~180min,然后在保护性气氛下,自然冷却至室温,得准一维稀土六硼化物纳米线。
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