[发明专利]一种丙烯酸酯共聚物及其制成的248nm光刻胶组合物

摘要

本发明公开了一种自由基共聚聚合法制备的248nm深紫外光刻胶用丙烯酸酯共聚物，属于光刻胶领域。该丙烯酸酯共聚物主要是以对乙酰氧基苯乙烯(ASM)、2‑甲基‑2‑金刚烷基甲基丙烯酸酯(MAM)、丙烯酸叔丁酯(TBA)、丙烯酸四氢呋喃酯(TA)为共聚单体，在引发剂存在下进行自由基共聚，制得丙烯酸酯共聚物，再加入一定量的甲醇钠和甲醇进行醇解，得到的共聚物最终应用在248nm光刻胶中。本发明制备方法简单，反应条件温和，所制备的共聚物适用于248nm光刻胶。

主权项

1.一种由丙烯酸酯共聚物制成的248nm光刻胶组合物，其特征在于所述248nm光刻胶组合物所含组分及各组分的质量分数为：丙烯酸酯共聚物                  11~18%产酸剂                          0.2~3%溶剂                            80~88%碱性添加剂                      0.01~0.05%流平剂                          0.03~0.10%；所述丙烯酸酯共聚物，所含组分及各组分所占的质量 分数为：对乙酰氧基苯乙烯                20~40%丙烯酸叔丁酯                    10~20%丙烯酸四氢呋喃酯                5~15%2‑甲基‑2金刚烷基甲基丙烯酸酯    1~15%引发剂                          5~15%溶剂                            35~50%；所述共聚物的制备方法包括如下步骤：(1)在单口烧瓶中加入20～40％对乙酰氧基苯乙烯、10～20％丙烯酸叔丁酯、 5～15％丙烯酸四氢呋喃酯、1～15％2‑甲基‑2‑金刚烷基甲基丙烯酸酯、5～15％引发 剂、35～50％溶剂，向单口烧瓶中通氮气5min除氧后密封；所述引发剂为偶氮 二异丁腈、偶氮二异庚腈、偶氮二异丁酸二甲酯、过氧化二苯甲酰、叔丁基过 氧化氢、苯甲酸过氧化氢中的一种或多种；所述溶剂为甲醇；(2)将单口烧瓶置于70～90℃油浴反应20～24小时，反应结束后往单口瓶中加入甲醇钠甲醇溶液进行醇解，醇解4～8h，反应结束；所述甲醇钠甲醇溶液中 甲醇钠与对乙酰氧基苯乙烯的摩尔比为1～1.1:1；(3)以丙酮为溶剂，水为沉淀剂，将步骤(2)所得产物反复溶解、沉淀3 次，将沉淀物置于30℃真空烘箱干燥，得白色固体，即为所述丙烯酸酯共聚物。