[发明专利]抗蚀剂组合物和干膜有效
| 申请号： | 201610125676.2 | 申请日： | 2016-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN105938297B | 公开（公告）日： | 2021-02-19 |
| 发明（设计）人： | 西尾一则;宫泽俊春 | 申请（专利权）人： | 太阳油墨制造株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/027 | 分类号： | G03F7/027;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供抗蚀剂组合物和干膜。提供能够形成与ITO膜的密合性和耐强酸性优异的抗蚀膜的抗蚀剂组合物和具有由该组合物得到的树脂层的干膜。一种抗蚀剂组合物，其特征在于，其包含具有氨基甲酸酯结构和双酚结构中的至少任一结构的碱溶性树脂；以及，一种干膜，其具有由该组合物得到的树脂层。 | ||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】：
一种抗蚀剂组合物，其特征在于，其包含具有氨基甲酸酯结构和双酚结构中的至少任一结构的碱溶性树脂。
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