[发明专利]保护膜检测方法

摘要

提供保护膜检测方法，高精度地确认保护膜覆盖装置所进行的水溶性保护膜的覆盖状况，是检测被加工物上是否覆盖有水溶性保护膜的方法。保护膜检测方法具有检测前的准备步骤(ST1)和检测步骤(ST2)。准备步骤(ST1)具有：反射强度获取步骤(ST12)，对参照物的覆盖有水溶性保护膜的第1区域和未覆盖水溶性保护膜的第2区域照射红外光并接受反射光，获取第1区域的反射强度和第2区域的反射强度；阈值决定步骤(ST13)，根据波数为3000cm‑1～3600cm‑1的情况下的第1区域的反射强度和第2区域的反射强度来求解阈值。检测步骤(ST2)对被加工物的表面照射红外光并接受反射光并将获取的反射强度与阈值进行比较。

主权项

一种保护膜检测方法，对被加工物上是否覆盖有水溶性保护膜进行检测，所述被加工物在表面上形成有凸点或图案，其中，该保护膜检测方法具有：反射强度获取步骤，对具有预先覆盖了水溶性保护膜的第1区域以及没有覆盖水溶性保护膜的第2区域的参照物分别照射具有规定的波段的红外光并接受反射光，获取平均化后的所述第1区域的反射强度和所述第2区域的反射强度；阈值决定步骤，根据波数为3000cm^‑1～3600cm^‑1的情况下的所述第1区域的反射强度和所述第2区域的反射强度来求解阈值，该阈值作为判断是否覆盖有所述水溶性保护膜的基准；以及检测工序，通过以规定的角度θ对覆盖了水溶性保护膜的被加工物的表面依次照射红外光并接受反射光而获取反射强度，并将所获取的所述反射强度与所述阈值进行比较来检测是否覆盖有所述水溶性保护膜。