[发明专利]单传感器式三维微纳米接触触发测量探头有效
| 申请号： | 201610128422.6 | 申请日： | 2016-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN105783772B | 公开（公告）日： | 2018-06-26 |
| 发明（设计）人： | 李瑞君;陈晨;李丹东;范光照;程真英 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 | 代理人： | 何梅生 |
| 地址： | 230009 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单传感器式三维微纳米接触触发测量探头，其特征是在基座中分别设置测头单元和测量单元，其测头单元将簧片支承在圆环座上，在簧片上设置圆形悬浮片，在圆形悬浮片上固定设置分光棱镜和楔形块，测杆与圆形悬浮片呈“T”形固定连接；测量单元是将激光器射出的准直光投射经分光棱镜和楔形块聚焦在四象限探测器上，利用四象限探测器测量探针的偏摆，从而实现单传感器式三维微纳米接触触发式测量。本发明能够获得高精度、高灵敏度和小测力的探测效果，其稳定性高、成本低且装调方便。 | ||
| 搜索关键词： | 单传感器 微纳米 悬浮片 四象限探测器 三维 测量单元 测量探头 分光棱镜 楔形块 触发 测头 簧片 测量探针 高灵敏度 固定设置 激光器 触发式 圆环座 准直光 测杆 测力 偏摆 射出 投射 支承 装调 探测 测量 聚焦 | ||
【主权项】：
1.一种单传感器式三维微纳米接触触发测量探头，其特征是设置：一基座(2)，用于固定设置所述测量探头；一测头单元(11)，是在所述基座(2)上固定设置圆环座(11c)，在所述圆环座(11c)上设置簧片(11b)，所述簧片(11b)是以其远端固定连接在圆环座(11c)上，使簧片(11b)支承在圆环座(11c)的上端面；在所述簧片(11b)的上表面、处在簧片(11b)的中央固定设置圆形悬浮片(11d)；在所述圆形悬浮片(11d)的上端面、处在圆形悬浮片(11d)的中央固定设置第二分光棱镜(10)，在所述第二分光棱镜(10)的上端面固定设置楔形块(9)；在所述圆形悬浮片(11d)的下端面、处在圆形悬浮片(11d)的中央、与所述圆形悬浮片(11d)呈“T”形固定设置测杆(11g)，所述测杆(11g)自簧片(11b)的中心通孔中贯穿，在所述测杆(11g)的前端固定测球(11f)；固定设置在基座(2)中的第一分光棱镜(8)处在所述第二分光棱镜(10)的一侧，用于向所述第二分光棱镜(10)投射反射光；所述第一分光棱镜(8)和第二分光棱镜(10)均为消偏振分光棱镜；所述测球(11f)为红宝石测球；一测量单元，是在所述基座(2)上固定激光器(4a)和四象限探测器(6)，所述激光器(4a)射出的准直光投射在第一分光棱镜(8)上，经所述第一分光棱镜(8)反射形成第一反射光，所述第一反射光经所述第二分光棱镜(10)形成第二反射光，所述第二反射光透过楔形块(9)聚焦在所述四象限探测器(6)上，利用所述四象限探测器(6)的激光探测信号获得所述第二分光棱镜(10)的位移量和三维角度。
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