[发明专利]机械手、半导体加工设备及机械手工作状态的检测方法

摘要

本发明提供一种机械手、半导体加工设备及机械手工作状态的检测方法，其包括手臂、设置在该手臂一端的手指和应变式传感器，其中，在手臂的内部设置有气体通路，且该气体通路的一端延伸至手指的下表面，通过对气体通路抽真空而使晶片被吸附在手指的下表面，应变式传感器用于检测手臂的应变量，基于手臂的应变量而判断机械手在传输和取放晶片的过程中是否出现异常，以及传输中的晶片是否存在问题。本发明提供的机械手，其可以及时准确地判断在传输和取放晶片的过程中是否出现异常，以及传输中的晶片是否存在问题。

主权项

一种机械手，包括手臂和设置在所述手臂一端的手指，在所述手臂的内部设置有气体通路，且所述气体通路的一端延伸至所述手指的下表面，通过对所述气体通路抽真空而使晶片被吸附在所述手指的下表面，其特征在于，所述机械手还包括应变式传感器，用于检测所述手臂的应变量，基于所述手臂的应变量而判断所述机械手在传输和取放晶片的过程中是否出现异常，以及传输中的晶片是否存在问题。