[发明专利]多功能显微共焦光谱仪有效
申请号: | 201610130068.0 | 申请日: | 2016-03-08 |
公开(公告)号: | CN105588640B | 公开(公告)日: | 2017-10-03 |
发明(设计)人: | 谭平恒 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | G01J3/44 | 分类号: | G01J3/44;G01J3/02 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人: | 任岩 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种多功能显微共焦光谱仪,该多功能显微共焦光谱仪包括一光学平台;以及设置于该光学平台上的第二激光器模块、光路耦合与输出主模块、第一激光器模块、照明观测模块、显微模块、第一信号检测模块、第二信号检测模块和第三信号检测模块;其中,该光路耦合与输出主模块和照明观测模块具有同一基座,第一激光器模块、显微模块、第一信号检测模块、第二信号检测模块和第三信号检测模块均固定在该基座的四周。本发明可以实现样品以及相应激光斑点的显微观测,能够方便地进行样品拉曼信号和光致发光信号的显微共焦测试,具有结构简单、稳定性好、调节方便和便于扩展的优点。 | ||
搜索关键词: | 多功能 显微 光谱仪 | ||
【主权项】:
一种多功能显微共焦光谱仪,其特征在于,该多功能显微共焦光谱仪包括:一光学平台;以及设置于该光学平台上的第二激光器模块、光路耦合与输出主模块、第一激光器模块、照明观测模块、显微模块、第一信号检测模块、第二信号检测模块和第三信号检测模块;其中,该光路耦合与输出主模块以及照明观测模块具有一共同基座,第一激光器模块固定在该基座后侧面,显微模块固定在该基座前侧面,第一信号检测模块固定在该基座右侧面,第二和第三信号检测模块固定在该基座后侧面;该照明观测模块包括:广谱光源WL,分束器BS1和BS2,汇聚透镜LNS4,照相机CMR,反射镜M45,其中:分束器BS2将来自广谱光源WL的白光反射到显微模块的显微物镜OBJ,经由显微物镜OBJ聚焦照射到样品SMP上;来自样品SMP的反射光经由显微模块的显微物镜OBJ收集后穿过分束器BS1后,经由分束器BS1反射到照相机CMR进行样品观察;分束器BS1和BS2成90度垂直角度放置,且都与光路成45度角;分束器BS1和BS2同时置于同一个具有两个固定位置的滑轨上;滑轨的一个位置使分束器BS1和BS2位于光路上,用于样品SMP的光学图像观察;将分束器BS1和BS2滑至滑轨的另外一个位置,分束器BS1和BS2将离开激光光路,使得广谱光源WL的白光不能入射到样品上,同时使得激光不受分束器BS1和BS2的干扰,这样激光可以无损通过照明观测模块来激发样品的散射光信号,同时,来自样品的散射光信号经显微模块的显微物镜OBJ收集也可以无损通过照明观测模块,然后传输到后续的信号检测模块并被信号检测模块检测。
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