[发明专利]一种用于负离子与气体碰撞的碰撞腔室有效
申请号: | 201610130407.5 | 申请日: | 2016-03-08 |
公开(公告)号: | CN105632876B | 公开(公告)日: | 2017-09-15 |
发明(设计)人: | 孙安;范义奎;张力平 | 申请(专利权)人: | 江苏德佐电子科技有限公司 |
主分类号: | H01J49/40 | 分类号: | H01J49/40;H01J49/02 |
代理公司: | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙)32231 | 代理人: | 翁斌 |
地址: | 210034 江苏省南京*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明一种用于负离子与气体碰撞的碰撞腔室,涉及测量实验设备领域,其包括腔室本体;所述腔室本体上设有反冲离子探测口、电子探测口、分子泵安装口、注气针阀安装口、系统连接口、进气口、真空规接口和飞行时间谱仪检测口;所述分子泵安装口开设于所述腔室本体的下侧;所述注气针阀安装口、飞行时间谱仪检测口均开设于所述腔室本体的上侧;所述注气针阀安装口和分子泵安装口设置于同一竖直轴线上;所述飞行时间谱仪检测口位于注气针阀安装口的侧边。通过上述方式,该碰撞腔室将原来安装分子泵的地方安装一个探测器,用于探测电子;将分子泵安装在原来的注气针阀处,处于整个腔室的下面,便于安装也较稳当。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 负离子 气体 碰撞 | ||
【主权项】:
一种用于负离子与气体碰撞的碰撞腔室,其特征在于:包括腔室本体(1);所述腔室本体(1)上设有反冲离子探测口(2)、电子探测口(3)、分子泵安装口(4)、注气针阀安装口(5)、系统连接口(6)、进气口(7)、真空规接口(8)和飞行时间谱仪检测口(9);所述分子泵安装口(4)开设于所述腔室本体(1)的下侧;所述注气针阀安装口(5)、飞行时间谱仪检测口(9)均开设于所述腔室本体(1)的上侧;所述注气针阀安装口(5)和分子泵安装口(4)设置于同一竖直轴线上;所述飞行时间谱仪检测口(9)位于注气针阀安装口(5)的侧面。
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