[发明专利]一种有机磷光器件的制备方法有效

专利信息
申请号: 201610130459.2 申请日: 2016-03-09
公开(公告)号: CN105633303B 公开(公告)日: 2018-05-01
发明(设计)人: 廖良生;王照奎;张磊 申请(专利权)人: 苏州大学
主分类号: H01L51/56 分类号: H01L51/56;H01L51/50
代理公司: 南京经纬专利商标代理有限公司32200 代理人: 曹毅
地址: 215000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供一种有机磷光器件的制备方法,该方法的制备步骤如下将ITO透明导电玻璃基片处理后置于真空腔内,抽真空;在基片上真空蒸镀HATCN层,形成空穴注入层;在空穴注入层上蒸镀由TAPC或TCTA形成的复合层;在复合层上采用双源蒸镀的方法,将DBF‑DMS作为主体材料,fac‑Ir(iprpmi)3作为染料制备有机发光层;在有机发光层上蒸镀TmPyPB,形成电子传输层,或者在有机发光层上依次蒸镀DBF‑DMS和Alq3形成空穴阻挡层和电子传输层;在电子传输层上依次真空蒸镀Liq层和Al层,形成阴极,即得有机磷光器件。本发明的制备方法易于制作、重复性好,制备得到的有机磷光器件的效率高。
搜索关键词: 一种 有机 磷光 器件 制备 方法
【主权项】:
一种有机磷光器件的制备方法,其特征在于该方法的制备步骤如下:第一步:将ITO透明导电玻璃基片在清洗剂中超声处理后,进行清洗,再烘烤至干燥,然后用紫外灯和臭氧进行处理,再把处理过的ITO透明导电玻璃基片置于真空腔内,抽真空至3.0×10‑4~4.0×10‑4Pa;第二步:在ITO透明导电玻璃基片上真空蒸镀HATCN层,形成空穴注入层,其中蒸镀速率为0.3 Å/s,镀膜厚度为10 nm;第三步:在空穴注入层上蒸镀由TAPC或TCTA形成的具有空穴传输层和电子阻挡作用的复合层,其中蒸镀速率为2Å/s,镀膜厚度为45nm,或者在空穴注入层上依次蒸镀NPB和TCTA形成空穴传输层和电子阻挡层,其中NPB的蒸镀速率为2Å/s,镀膜厚度为35nm,TCTA的蒸镀速率为2Å/s,镀膜厚度为10 nm;第四步:在第三步制备得到的复合层或电子阻挡层上采用双源蒸镀的方法,将DBF‑DMS作为主体材料,fac‑Ir(iprpmi)3作为染料制备有机发光层,其中蒸镀速率为2Å/s,镀膜厚度为20 nm,或者将DBF‑DMS作为主体材料,fac‑Ir(iprpmi)3和PO‑01作为染料制备有机发光层,其中蒸镀速率为2Å/s,镀膜厚度为20nm;第五步:在第四步制备得到的有机发光层上蒸镀TmPyPB,形成具有空穴阻挡和电子传输作用的电子传输层,其中蒸镀速率为2Å/s,镀膜厚度为45nm,或者在有机发光层上依次蒸镀DBF‑DMS和Alq3形成空穴阻挡层和电子传输层,其中DBF‑DMS的蒸镀速率为2Å/s,镀膜厚度为10 nm,Alq3的蒸镀速率为2Å/s,镀膜厚度为35nm;第六步:在第五步中制备得到的电子传输层上依次真空蒸镀Liq层和Al层,形成阴极,即得有机磷光器件,其中Liq层的厚度为2nm,Al层的厚度为120nm。
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