[发明专利]加热器以及使用了其的半导体装置的制造装置有效
| 申请号： | 201610130482.1 | 申请日： | 2016-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN105957820B | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 古谷弘;佐藤裕辅;铃木邦彦 | 申请（专利权）人： | 纽富来科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 72002 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 徐殿军 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明的一实施方式的加热器具有：通过通电来发热的加热器元件、和连接到加热器元件的规定面且在向加热器元件通电时施加电压的一对电极，上述加热器元件具有：面状的发热部；一端配置在发热部的外周、另一端配置在发热部的折返部内而直线状地形成了开口的直线状缝隙；以及与另一端连续而形成开口且开口径比直线状缝隙的缝隙宽度大的折返部。 | ||
| 搜索关键词： | 加热器 以及 使用 半导体 装置 制造 | ||
【主权项】：
1.一种加热器，具备：/n加热器元件，上述加热器元件通过通电来发热，具备：面状的发热部；一端配置在上述发热部的外周且另一端配置在上述发热部内而直线状地形成了开口的直线状缝隙；以及与上述另一端连续地形成开口且开口宽度比上述直线状缝隙的缝隙宽度大的折返部，以及/n一对电极，与上述加热器元件的规定面连接，在向上述加热器元件通电时被施加电压，/n上述直线状缝隙的距上述另一端为规定距离之间的端部向如下方向弯曲，上述方向为沿着上述发热部的外缘的同心圆的方向，/n上述折返部配置为，在上述同心圆上，并且自上述直线状缝隙的从上述一端起到达上述端部的本体部的中心线偏离规定的角度。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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