[发明专利]一种含咪唑并[1;2-a]吡啶类化合物的缓蚀剂及其制备方法

摘要

本发明涉及一种含咪唑并[1,2‑a]吡啶类化合物的缓蚀剂及其制备方法，该缓蚀剂包括1‑5重量份的咪唑并[1,2‑a]吡啶类化合物、4‑25重量份的硬脂酸铵、50‑200重量份的醇、1‑5重量份的氨基酸和5‑25重量份的聚烯酸。本发明的有益效果为：采用本发明的方法制备的缓蚀剂不仅用量少，而且效果好，因此相对成本更低。

主权项

1.一种含咪唑并[1,2‑a]吡啶类化合物的缓蚀剂，其特征在于，该缓蚀剂包括2‑3重量份的咪唑并[1,2‑a]吡啶类化合物、6‑20重量份的硬脂酸铵、100‑150重量份的醇、2‑3重量份的氨基酸和8‑20重量份的聚烯酸、5‑25重量份的聚马来酸酐；所述咪唑并[1,2‑a]吡啶类化合物为选自咪唑并[1,2‑a]吡啶、咪唑并[1,2‑a]吡啶‑6‑甲醛和8‑羧酸咪唑并[1,2‑a]吡啶中的至少一种，所述醇为选自乙醇、丙醇和丁醇中的至少一种，所述氨基酸为选自丙氨酸、谷氨酸和亮氨酸中的至少一种，所述聚烯酸为选自聚乙烯酸、聚丙烯酸和聚苯烯酸中的至少一种。